本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面,对该技术进行系统性解析。
一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口
当前半导体制造技术正经历关键变革:鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极(GAA)纳米带晶体管替代,中段制程(MOL)因多重图形化技术的应用,堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部,传统光学检测手段难以有效识别。
同时,先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性,集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”,此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发,成为影响良率的核心因素。
行业面临的核心矛盾在于:电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术,但传统电子束检测采用光栅扫描模式,效率远低于光学检测,无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现,为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构:PointScan 的创新逻辑
DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成,其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构,主要体现在以下三方面:
1
设计感知驱动的靶向检测
传统电子束检测采用无差别光栅扫描,需覆盖包括介质区域在内的全部区域,且无法识别被测目标的图形特征;PointScan 技术具备非接触式电学测试特性,可精准跳转至目标器件的关键位置(如焊盘、接触点),仅对有效检测区域实施电压衬度检测,完全规避介质区域的无效扫描,实现 “按需检测”。

2
检测效率的量级提升
通过 FIRE 平台的精细化版图分析,可精准筛选出需检测的 “关键区域”,大幅缩减检测范围:
后段制程金属 3 层通孔检测:仅需扫描总可检测面积的 2.5%
中段制程栅极 - 漏极短路检测:仅需扫描总接触点的 1%
栅极残筋检测:可规避 50%-75% 的介质区域,检测面积缩减至传统方案的 10% 以下
基于上述优化,PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍,每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。
3
设计感知学习与属性分析能力
DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合,可实现跨多层版图的属性提取,包括触点类型(漏极 / 栅极)、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。
eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码,可与版图特征精准匹配,工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率,快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案,为工艺优化提供数据支撑。
三、高难度场景的应用突破
PointScan 技术的低电荷沉积特性,使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破:
背侧供电网络(BSPDN)晶圆检测
键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导,导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题;PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量,有效缓解上述问题,已完成实际应用验证。
3D DRAM检测
3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积,此前检测难度较高,DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。
DRAM 阵列短路检测
独有的可控 “充电 - 检测” 功能,可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号,使特定岛状节点呈现高亮状态,清晰识别与浮空相邻触点的短路问题,该功能为传统光栅扫描技术所不具备。
四、行业落地实践与全流程应用
自 2022 年初起,eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地,目前两套设备投入大批量生产,第三套设备处于产能爬坡阶段,应用场景覆盖半导体制造全流程:
先进逻辑芯片制造
中段制程:GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测
后段制程:M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测
背侧供电网络:电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测
随机逻辑电路漏电情况评估
先进 DRAM 制造(2024-2025 年)
外围电路:栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位
存储阵列:基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测
技术总结
在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下,检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合,在保留电子束检测高灵敏度的基础上,实现了检测吞吐量的量级提升,同时破解了高难度场景的检测难题。
该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题,更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级,为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。
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>2026-06-25 06:27 来源:闻见
这城有良田古风经营古代城市建造模拟现实生活在这城有良田游戏中琅嬛银香囊宝具是一个较为强力的宝具,部分玩家不知道琅嬛银香囊宝具应该如何搭配使用,下面就为大家带来这城有良田游戏中琅嬛银香囊宝具的使用攻略分享,有需要的玩家可以参考。
这城有良田琅嬛银香囊宝具
基础属性与获取
香囊属于橙色稀有宝具,可通过寻宝、抽卡或活动获取。其星级可提升,满星(15星)时效果更强。
宝具效果
1、主战技能:消耗1000点能量,为己方当前生命比例最低的3名友军恢复等同于己方生命最高目标生命上限18%的护盾,并使目标受到的远程伤害降低25%,持续8秒。
2、增幅技能:开局时,若主战宝具为辅助型或防御型,可获得800点宝具能量;若主战宝具为攻击型或控制型,同样获得800点宝具能量。
核心特点
1、护盾与减伤:香囊的核心优势在于为队友提供即时护盾,同时降低远程伤害。护盾量虽相对较小,但能快速为队友提供临时保护,尤其适合应对远程输出阵容。
2、能量增幅:其增幅技能可大幅提升主战宝具的启动速度,使主战技能更早释放,在战斗中发挥关键作用。

适用场景
1、阵容搭配:适合搭配以法师或远程输出为核心的阵容,如名士魏征队、宗府无垢队等。在这些阵容中,香囊的护盾和减伤效果能有效保护队友,同时其能量增幅可加速主战宝具的技能释放,提升整体输出或控制能力。
2、战斗节奏:在快节奏的战斗中,香囊的护盾和减伤效果能快速稳定局势,为队友创造输出或控制机会。若战斗节奏较慢,其能量增幅也能为后续技能释放提供支持。
培养建议
1、星级提升:香囊的星级提升可增强其护盾量和减伤效果,建议优先提升星级以最大化其作用。
2、宝具位置:可将其作为主战宝具或增幅宝具使用。若作为主战宝具,需搭配高血量僚属(如鉴真、陈平安等)以增强护盾效果;若作为增幅宝具,需确保主战宝具为辅助或防御型,以触发能量增幅效果。
总结:香囊宝具是一款兼具护盾、减伤和能量增幅功能的宝具,适合应对远程输出阵容和快节奏战斗。其价值不仅在于自身技能,更在于与其他宝具和阵容的协同作用,合理搭配可显著提升队伍战斗力。
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>2026-06-25 06:10 来源:闻见
2025年3月19日


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>2026-06-25 06:00 来源:闻见
茂林修竹间,一条彩色的旅游公路串起林场、农庄和果园,地处江淮分水岭的合肥市长丰县岗集镇青峰岭村,万亩薄壳山核桃已果实累累。这里的丰收美景和田园之乐,让不少城里游客流连忘返。
“今年薄壳山核桃的产量、品质都不错!林下养鸡,林间种油菜,春天你再来看,又是一番美景!”作为当地较早返乡创业的新农人,长丰青峰岭家庭农场负责人王正华亲眼见证了“护绿生金”的变化。
王正华告诉记者,林长制改革以来,山有人管,林有人治,责有人担。村里优化产业结构,将资源变资产,发展现代都市观光农业,产业链条不断延伸。城里游客慕名而来,一到周末,农庄里的十几间精品民宿“一房难求”,优质的特色农产品成了抢手货。
守绿换金,添绿增金。在安徽,5.2万名林长守护着400多万公顷森林和100多万公顷湿地。数据显示,近5年,安徽省造林765万亩,农田林网建成率达73.8%,湿地保护率达51%以上。
森林碳汇、森林旅游、森林康养……安徽立足资源禀赋和区域特点,不断拓展生态产品价值实现途径,统筹推进生态产业化和产业生态化,推动生态资源转化为“富民资本”,绿水青山底色更亮,“金山银山”成色更足。
蓝天下,一望无际的黄金茶顺着丘陵起伏绵延,健身步道、休闲木亭点缀在茶园中,位于安徽省宣城市郎溪县的大佛山养心谷是不少摄影爱好者的网红打卡地。
依托优美的生态环境,郎溪县将盘活林业资源与发展全域旅游相结合,加快与沪苏浙等地的交通基础设施互联互通,描绘生产美、生态美、生活美的乡村振兴新图景。
“我们依托黄金茶标准化种植基地,探索茶旅融合,发展生态+康养产业,将美丽风光变为美丽经济,带动更多的村民走上生态致富路。”郎溪县大佛山养心谷负责人王立胜说。
水岸共治、退渔还湖、退养还湿……从予取予求到反哺自然、尊重自然、人与自然和谐共生,安徽按下生产和生活方式绿色转型“快进键”。
统筹推进山水林田湖草沙一体化保护和系统治理,安徽加快建设长江、淮河、江淮运河、新安江生态廊道,为区域经济发展筑牢生态安全屏障。

图为合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地。新华社记者张端 摄
在安徽省合肥市肥东县长临河镇十八联圩湿地,百鸟争鸣,草木繁茂。随着环巢湖湿地面积的不断增加,生物多样性加快恢复,巢湖生态湿地重现生机。
当地群众告诉记者,这几年生态环境好了,常能看到白琵鹭、豆雁、红嘴鸥等鸟类在这里越冬、栖息,难得一见的东方白鹳也时常飞到巢湖湿地来觅食。

巢湖风光,作为五大淡水湖之一,巢湖是我国生态版图上的一颗明珠。新华社记者张端 摄
青山为笔,碧水为墨,一幅生产发展、生活富裕、生态良好、城乡共美的青绿山水画卷正徐徐展开。
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>2026-06-25 05:58 来源:闻见

泉港区涂岭镇秀溪村举办篝火晚会,吸引了不少游客。
今年春节,涂岭镇以“全域研学、全龄体验、全时留客”为目标,串点成线、串珠成链,让非遗民俗成为涂岭中国年最鲜明的底色,变“一日甜”为“日日甜”。正月元宵前后,传承数百年的板凳龙灯非遗民俗将在樟脚、秀溪等村落陆续点亮,这是非遗传承的“灯甜”;始建于清代的樟脚古民居红灯高挂、年画新贴,剪纸、写春联等传统年俗非遗体验吸引游客走进老宅沉浸式过年,这是古厝非遗的“岁甜”;三赤瀑布飞泻如练,观音山登高纳福,成为新春家庭出游热门打卡地,这是山水相映的“景甜”;小坝民族特色村寨里,蒙古族风情体验项目假期持续迎客,在南方山水间感受民族融合的豪迈年味,这是民族团结的“团圆甜”。
为让年过得更舒心、更具特色,涂岭镇在秀溪、小坝等景点周边配套布局一批太空舱民宿,既丰富游客的乡野度假体验,又推动乡村旅游从“过路游”升级“过夜游”。(通讯员 林艳婷 融媒体记者 陈淑华 文/图)
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>2026-06-25 05:43 来源:闻见
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>2026-06-25 05:42 来源:闻见
PChome3月25日消息,联合创新正式推出新款34英寸带鱼屏显示器34C1R,主打1440P分辨率、高刷新率与广色域覆盖,首发价1799元(原价1999元),精准定位专注专业办公,又兼顾轻度游戏娱乐的高性价比市场。

性能方面,这款显示器采用34英寸IPS直面屏,21:9带鱼屏比例搭配3440×1440准4K分辨率,静态对比度1000:1,峰值亮度400尼特,支持HDR400,画面细节清晰、明暗层次丰富。刷新率上,原生165Hz可超频至180Hz,搭配Adaptive-Sync防撕裂技术,兼容FreeSync与G-Sync,有效减少游戏拖影和画面撕裂,提升电竞体验。
色彩表现出众,覆盖99% sRGB、96% DCI-P3、92% Adobe RGB色域,8bit色深搭配ΔE<2出厂校色,每台配备独立校色报告,还支持六轴手动调色,适配专业设计、视频剪辑等需求。

同时标配人体工学支架,支持0-120mm升降、-5°~15°俯仰及30°左右旋转,预留100×100mm VESA壁挂孔,适配不同使用场景。接口丰富,双HDMI 2.0+双DP 1.4接口支持PIP/PBP分屏功能,可同时连接两台主机,内置双3W扬声器与3.5mm音频接口,满足日常视听需求。
PChome认为,从价格来讲,1799元的首发价极具竞争力,相比同价位VA曲面屏,IPS面板在色彩通透性和可视角度上更具优势,既能以180Hz高刷满足轻度电竞需求,又能凭借广色域与精准校色适配专业场景,成为多用途用户的高性价比之选。
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>2026-06-25 05:07 来源:闻见
多元力量聚合力,打造“全功能”服务队伍
“睦邻先锋队”广纳贤才,社区工作者、党员志愿者、退休干部、全职妈妈等群体纷纷响应。截至目前,通过线上线下报名渠道,已吸纳队员35名,组建起3支特色小队。由党员水电工组成的“闪电维修组”,成立以来完成水电抢修6次、公共设施巡检9次;退休干部组成的“红马甲调解团”,成功化解邻里纠纷5起,调解成功率达100%;6名全职妈妈组成的“童心守护联盟”,开展课外辅导、亲子活动14场,服务儿童超120人次。
专业赋能强本领,提升服务“含金量”
为让服务更专业,先锋队建立分层培训体系,基础培训帮助队员快速熟悉社区居民的分布特点与文化习俗。专业培训则精准发力,为维修组开设水电技能提升课,邀请专业技师现场演示;为调解团解读《中华人民共和国民法典》邻里关系条款;为守护联盟培训儿童急救与心理疏导技巧。规范的工作机制让服务高效运转,居民可通过社区热线、微信群等渠道反馈需求,受理岗24小时内完成分类派单。家住定远县曲阳国际小区的居民陈龙反映楼道灯不亮,闪电维修组15分钟响应,30分钟修复,满意度评价达五星。此外,积分兑换机制激发持续动力,队员凭服务时长累计积分,可在辖区超市兑换生活用品,已有7名队员兑换了积分奖励。
共建共治聚民心,绘就社区治理“同心圆”
“睦邻先锋队”不仅解决问题,更拉近了邻里距离,退休教师杜黎明是调解团成员,她调解的不仅是纠纷,更是人心。居民张先生曾因楼上住户的空调外机正对着自家卧室窗台,生活备受影响,多次向物业和社区反映却无果。杜黎明得知后,一次次上门耐心协调,用真诚沟通架起桥梁,最终楼上住户主动同意移走外机,一场僵持许久的邻里矛盾迎刃而解。更暖心的是,经此一事,两家人从最初的隔阂生疏,变成了如今常来常往的朋友。从设施维修到矛盾化解,从儿童守护到邻里互助,这支队伍用行动诠释“远亲不如近邻”,让共建共治共享的理念落地生根,让幸福在邻里间悄然传递。(王建国)
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>2026-06-25 05:06 来源:闻见
活动将节日庆祝与志愿服务深度融合。现场不仅有节日的欢快,更跃动着“雷锋”的身影。社区组织志愿者提供了义务理发、健康咨询、法律科普等多项便民服务,让居民在家门口感受到实实在在的温暖。
随后的文艺汇演精彩纷呈。激昂的腰鼓《欢天喜地》、动感的广场舞《火花》、风情浓郁的新疆舞、悠扬的吹管演奏和温馨的吉他弹唱接连上演。其中,由居民自编自演的三句半《咱们西苑新家园》,用诙谐幽默的方言,生动讲述了社区环境提升、邻里互助、文明新风的点点滴滴,真实可感的“身边变化”引发全场共鸣,笑声与掌声不断。
表彰现场,一个个感人的家庭故事、一个个鲜活的先进典型,生动展现了新时代家庭文明新风尚。
编辑:邱潮
编审:文婷 黄琪雅
终审:邹菲
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>2026-06-25 04:56 来源:闻见